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Präzisions-Quarz-, Saphir- und Keramikkomponenten für Halbleiter- und Hightech-Fertigung.
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Rohre & Liner
Prozessrohre, Ofenliner, Reaktorrohre
Boote & Träger
Waferboote, Träger, Bootsgestelle
Ringe & Flansche
Fokusringe, Dichtflansche, Positionierringe
Platten & Fenster
Sichtfenster, Blenden, Scheiben
Kammern & Glasglocken
Reaktionskammern, Glasglocken, Dome
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Fertigung nach Zeichnung
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13 Ergebnisse
Quarzglas-Diffusionsrohr
Hochreine Quarzglas-Diffusions- und Oxidationsrohre für Halbleiteröfen, als gerades Rohr, mit Flansch oder Bell-End für 4- bis 12-Zoll-Waferprozesse.
Quarzglas-Waferboat
Präzisionsbearbeitete Waferboats aus Quarzglas für horizontale und vertikale Diffusionsöfen, mit 25-Slot-Standard und kundenspezifischer Slotanzahl für 4- bis 12-Zoll-Wafer.
Quarzglas-Flansche und Fittings
Präzisionsbearbeitete Quarzglasflansche, Reduzierstücke, Bögen und Rohrfittings für Halbleiter-Gasleitungen und Ofenrohrbaugruppen, kompatibel mit Standard-Metallflansch-Schnittstellen.
Quarzglas-Fokusring und Ätzring
Präzisionsbearbeitete Quarzglas-Fokusringe, Ätzringe und Edge Rings für Plasmaätz- und CVD-Kammern mit ±0.01 mm Toleranz und Ra 0.1 μm Oberfläche.
Quarzglas-Bell-Jar und Dome
Geblasene und geformte Bell Jars und Dome aus Quarzglas für CVD-, Epitaxie- und Sputterreaktoren, bis 500 mm Durchmesser mit hermetischen Schweißflanschen.
Quarzglas-Reinigungstank
Geschweißte Nassreinigungsbehälter aus Quarzglas für HF-, SC-1-, SC-2- und Piranha-Prozesse in der Halbleiterfertigung, als Einzel- oder Kaskadentank in kundenspezifischen Größen.
Quarzglas-Gasinjektor und Showerhead
Präzise Mehrloch-Gasinjektoren und Showerheads aus Quarzglas für gleichmäßige Gasverteilung in CVD-, ALD- und Diffusionsofensystemen, mit Lochpositionsgenauigkeit bis ±0.02 mm.
Quarzglas-Reaktorrohr
Hochreine Quarzglas-Reaktorrohre für Epitaxie-, CVD- und RTP-Systeme, verfügbar mit polierter Innenbohrung, Seitenports und präzisionsgeschliffenen Flanschen.
Quarzglas-Sichtfenster
Optisch polierte Quarzglas- und Saphir-Sichtfenster für die Überwachung von Halbleiterprozesskammern, mit UV- bis Mittel-IR-Transmission und hermetischen Metall- oder CF-Flanschen.
Quarzglas-Baffle und Einsatz
Kundenspezifisch bearbeitete Quarzglas-Baffles, Liner und Wärmeschilde für Halbleiter-Ofenrohre, Diffusionssysteme und CVD-Reaktoren.
Saphirfenster und optische Planplatte
Einkristalline Saphirfenster und optische Planplatten für Halbleiterprozesskammern mit UV- bis Mittel-IR-Transmission, Ra < 0.1 nm sowie hoher Plasma- und Chemikalienbeständigkeit.
Keramischer Wafercarrier und Boat
Hochreine Aluminiumoxid- und Siliziumkarbid-Wafercarrier, Boats und Kassetten für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterfertigung mit hoher Verschleiß- und Temperaturwechselbeständigkeit.
Kundenspezifische Präzisionsteile
Zeichnungsbasierte Sonderfertigung von Komponenten aus Quarzglas, Saphir und technischer Keramik, vom Prototyp bis zur Serie und passend zu jeder Geometrie und Spezifikation.
Individuelle Lösungen
Individuelle Abmessungen und Spezifikationen auf Anfrage möglich.
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